Rapid thermal and integrated processing IV :  symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A. / 
eds. Steven R.J. Brueck [y otros] 
 - xiii, 454 páginas 
 - Materials research society symposium proceedings  387 .
 - Materials Research Society symposium proceedings .
<br/><br/><label>ISBN: </label>1558992901 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Tratamiento termico--Congresos<br/>Dopado de semiconductores--Congresos<br/>Deposición química de vapor--Congresos<br/>Dielectricos--Congresos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / R345 1995