TY  - BOOK
AU  - Brueck, S. R. J.,
ED  - Materials Research Society
TI  - Rapid thermal and integrated processing IV: symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A. 
T2  - Materials research society symposium proceedings
SN  - 1558992901
AV  - TK7871.85 R345 1995
PY  - 1995///
CY  - Pittsburgh, Pennsylvania
PB  - Materials Research Society
KW  - Semiconductores
KW  - Tratamiento termico
KW  - Congresos
KW  - Dopado de semiconductores
KW  - Deposición química de vapor
KW  - Dielectricos
ER  -