Tandon, U. S.,  1952-, <br/><br/>
Patterning of material layers in submicron region / 
U.S. Tandon, W.S. Khokle. 
 - xii, 183 páginas :  Ilustraciones (algunas a color) ; 
<br/><br/>Incluye referencias bibliograficas e indices. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0470220635 (J. Wiley) 8122405614 (Wiley Eastern) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Máscaras<br/>Litografia ionica del haz<br/>Litografia electronica del haz<br/>Litografía por rayos X
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7872.M3  / T35 1993 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/31