TY  - BOOK
AU  - El-Kareh,Badih
TI  - Fundamentals of semiconductor processing technology
SN  - 0792395344 (papel libre de acido)
AV  - TK7871.85 E45 1995
U1  - 621.3815/2 20
PY  - 1995///
CY  - Boston
PB  - Kluwer Academic
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Procesos de manufactura
N1  - Titulo de la cubierta: Fundamentals of semiconductor processing technologies; Incluye referencias bibliograficas e indices
ER  -