TY  - BOOK
AU  - Rimini,Emanuele
TI  - Ion implantation: basics to device fabrication 
T2  - Kluwer international series in engineering and computer science
SN  - 0792395204 (papel libre de acido)
AV  - QC702.7I55 R55 1995
U1  - 621.3815/2 20
PY  - 1995///
CY  - Boston
PB  - Kluwer Academic
KW  - Implantación de iones
KW  - Dopado de semiconductores
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
N1  - Includes bibliographical references (p. [359]-378) and index
ER  -