Campbell, Stephen A.,  1954-, <br/><br/>
The science and engineering of microelectronic fabrication / 
Stephen A. Campbell 
 - xv, 536 páginas :  ilustraciones ; 
 - Oxford series in electrical engineering .
<br/><br/>Incluye referencias bibliograficas e indices 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0195105087 (encuadernado en tela : papel libre de acido) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / C34 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2