TY  - BOOK
AU  - Campbell,Stephen A.
ED  - University of Oxford
TI  - The science and engineering of microelectronic fabrication
T2  - Oxford series in electrical engineering
SN  - 0195105087 (encuadernado en tela : papel libre de acido)
AV  - TK7871.85 C34
U1  - 621.3815/2 20
PY  - 1996///
CY  - New York
PB  - Oxford University Press
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
N1  - Incluye referencias bibliograficas e indices
ER  -