Advanced metallization for ULSI applications in 1993 : proceedings of the conference held October 5-7, 1993, San Diego, California, U.S.A., and October 26-27, 1993, Tokyo, Japan sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley, U.S.A. / ed., David P. Favreau, Yosi Shacham-Diamand, Yasuhiro Horiike
Tipo de material: TextoSeries Materials research society conference proceedingsEditor: Pittsburgh, Pennsylvania : Materials Research Society,, 1994Descripción: 611 páginasTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 1558992359Tema(s): Circuitos integrados -- Ultra integración a gran escala -- Materiales -- Congresos | Películas metálicas -- Congresos | Deposicion en fase de vapor -- Congresos | Metalización electroquímica -- CongresosClasificación LoC:TK7871.15F5 | A38Otra clasificación: GeneralTipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros | Libros Libros | General | TK7871.15.F5/A38 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 9329 |
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