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Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication / Chris Mack
Tipo de material:
TextoEditor: Chichester, West Sussex, England : Wiley, c2007Descripción: xvii, 515 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9780470018934; 0470018933; 9780470727300 (rústica); 0470727306 (rústica)Tema(s): Circuitos integrados -- Diseño y construcción | Microlitografía -- Aplicaciones industrialesClasificación CDD: 621.3815/31 Clasificación LoC:TK7874 | M167Otra clasificación: General
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | General | TK7874/M167 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 19552 |
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