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		Analysis of structural changes in plasma-deposited fluorinated silicon dioxide films caused by fluorine incorporation using ring-statistics based mechanism. Título de la Revista: Journal of Applied Physics por Pankov, V \| Alonso, J.C \| Ortiz, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 1999. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		BCN thin films near the B/sub 4/C composition deposited by radio frequency magnetron sputtering. Título de la Revista: Diamond and Related Materials por Lousa, A \| Esteve, J \| Muhl, S \| Martinez, E \| Universitat de Barcelona. Departament de Fisica Aplicada i Optica \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 2000. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Dependency of reactive magnetron-sputtered SiC film quality on the deposition parameters. Título de la Revista: Thin Solid Films por Mahmood, A \| Muhl, S \| Sansores, L.E \| Andrade, E \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 2000. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Effect of hydrogen dilution on the structure of SiOF films prepared by remote plasma enhanced chemical vapor deposition from SiF/sub 4/-based plasmas. Título de la Revista: Journal of Vacuum Science and Technology A-Vacuum, Surface, and Films por Alonso, J. C \| Pichardo, E \| Pankov, V \| Ortiz, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 2000. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Preparation of CNSi/sub x/ using a RF hollow cathode. Título de la Revista: Diamond and Related Materials por Muhl, S \| Mahmood, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 2000. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Thermoluminescent response of carbon nitride thin films deposited by laser ablation. Título de la Revista: Materials Science and Engineering B: Solid State Materials for Advanced Technology por Escobar-Alarcon, L \| Villarreal-Barajas, J.E \| Camps, E \| Muhl, S \| Haro-Poniatowski, E \| Romero, S \| Salinas, B \| Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Autonoma Metropolitana. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 2002. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)

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