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		Analysis of structural changes in plasma-deposited fluorinated silicon dioxide films caused by fluorine incorporation using ring-statistics based mechanism. Título de la Revista: Journal of Applied Physics por Pankov, V \| Alonso, J.C \| Ortiz, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 1999. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Chemical and structural properties of polymorphous silicon thin films grown from dichlorosilane Título de la Revista: Applied Surface Science por Alvarez-Macias, C \| Monroy, B. M \| Huerta, L \| Canseco-Martinez, M. A \| Picquart, M \| Santoyo-Salazar, J \| Garcia Sanchez, M. F \| Santana, G \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Autonoma Metropolitana-Iztapalapa. Departamento de Fisica \| Instituto Politecnico Nacional. Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados. Departamento de Fisica \| Instituto Politecnico Nacional. Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2013 Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Deposition, opto-electronic and structural characterization of polymorphous silicon thin films to be applied in a solar cell structure Título de la Revista: Materials Science In Semiconductor Processing por Hamui, L \| Remolina, A \| Garcia-Sanchez, M. F \| Ponce, A \| Picquart, M \| Lopez-Lopez, M \| Monroy, B. M \| Santana, G \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Pontificia Bolivariana de Bucaramanga. Facultad de Ingenieria Mecanica. Grupo de Investigacion en Desarrollo Tecnologico Mecatronica y Agroindustria \| Instituto Politecnico Nacional. Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologia Avanzada \| University of Texas at San Antonio. Department of Physics and Astronomy \| Universidad Autonoma Metropolitana Iztapalapa. Departamento de Fisica \| Instituto Politecnico Nacional. Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados. Departamento de Fisica. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2015 Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		The effect of hydrogen addition on the fluorine doping level of SiOF films prepared by remote plasma-enhanced chemical vapor deposition using SiF/sub 4/-based plasmas. Título de la Revista: Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes and Review Papers por Pankov, V \| Alonso, J.C \| Ortiz, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 1998. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Effect of hydrogen dilution on the remote plasma enhanced chemical vapor deposition of chlorinated SiO/sub 2/ films. Título de la Revista: Journal of Vacuum Science and Technology A-Vacuum, Surface, and Films por Alonso, J. C \| Vazquez, R \| Ortiz, A \| Pankov, V \| Andrade, E \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica. Tipo de material: Texto Idioma: SPA Detalles de publicación: 1998. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Experimental and theoretical rationalization of the growth mechanism of silicon quantum dots in non-stoichiometric SiNx: role of chlorine in plasma enhanced chemical vapour deposition Título de la Revista: Nanotechnology por Mon-Perez, E \| Salazar, J \| Ramos, E \| Santoyo Salazar, J \| Lopez Suarez, A \| Dutt, A \| Santana, G \| Monroy, B. M \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Departamento de Materiales de Baja Dimensionalidad \| Instituto Politecnico Nacional. Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados. Departamento de Fisica \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica. Departamento de Fisica Experimental. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2016 Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Growth of silicon nanoclusters on different substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition. Título de la Revista: Journal of Nanoscience and Nanotechnology por Monroy, B.M \| Santana, G \| Fandino, J \| Ortiz, A \| Alonso, J.C \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2006. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Influence of substrate temperature on the properties of fluorinated silicon-nitride thin films deposited by IC-RPECVD. Título de la Revista: Journal of Electronic Materials por Fandino, J \| Lopez-Suarez, A \| Monroy, B. M \| Santana, G \| Ortiz, A \| Alonso, J. C \| Oliver, A \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2006. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Photoluminescence properties of SiNx/Si amorphous multilayer structures grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Título de la Revista: Journal of Luminescence por Monroy, B.M \| Santana, G \| Aguilar-Hernandez, J \| Benami, A \| Fandino, J \| Ponce, A \| Contreras-Puente, G \| Ortiz, A \| Alonso, J.C \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Instituto Politecnico Nacional. Escuela Superior de Fisica y Matematicas \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2006. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Plasma-induced size reduction in gold nanoclusters embedded in a dielectric matrix. Título de la Revista: Science of Advanced Materials por Fandiño, J \| Crespo, A \| Santana, G \| Rodriguez-Fernandez, L \| Alonso, J.C \| Garcia Sanchez, M.F \| Ortiz, A \| Vigil, O \| Lopez-Suarez, A \| Oliver, A \| Universidad Autonoma de la Ciudad de Mexico \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica \| Instituto Politecnico Nacional. Escuela Superior de Fisica y Matematicas. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2009. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Variation in the structure and optical properties of polymorphous silicon thin films using dichlorosilane as silicon precursor Título de la Revista: Physica Status Solidi C: Current Topics In Solid State Physics por Remolina, A \| Hamui, L \| Monroy, B.M \| Garcia-Sanchez, M.F \| Ponce, A \| Picquart, M \| Santana, G \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Centro de Investigacion en Quimica Aplicada \| Universidad Autonoma Metropolitana Iztapalapa. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2011 Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)

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