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		Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera por Wasa, Kiyotaka [editor de la compilación] \| Kanno, Isaku [editor de la compilación] \| Kotera, Hidetoshi [editor de la compilación]. Edición: Second editionTipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Waltham, MA : William Andrew, c2012Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Libros: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Pulsed and pulsed bias sputtering : principles and applications / by Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu por Barnat, Edward V [autor] \| Lu, Toh-Ming, 1943- [autor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: ENG Editor: Boston : Kluwer Academic, c2003Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TS695/B37. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Reactive sputter deposition / D. Depla, S. Mahieu, editors por Depla, D. (Diederik) [editor] \| Mahieu, S. (Stijn) [editor]. Series Springer series in materials science ; 109Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Berlin : Springer Verlag, c2008Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TS695/R43 Vol. 109. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Sputtering materials for VLSI and thin film devices / Jaydeep Sarkar por Sarkar, Jaydeep [autor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Waltham [Mass.] : William Andrew, 2014Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7874/S349. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Vacuum technology, thin films, ans sputtering : An introduction / R. v. stuart por Stuart, R. V [autor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: San diego : Academic, c1983Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TP156.V3/S87. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)

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