Influence of the sputtering gas composition on the properties of thin boron nitride thin films.
Título de la Revista: Diamond and Related MaterialsTipo de material: TextoIdioma: SPA Detalles de publicación: 1998. Descripción: Vol. 7, no. 8, pp. 1184-1189Tema(s): Boron nitride | Sputtering | D.c. bias | FTIRRecursos en línea: Acceso texto completoTipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Artículos | Artículos Artículos | General | 1 | Préstamo en sala | PIM-291 |
Total de reservas: 0
Articulo
No hay comentarios en este titulo.