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		Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication / Chris Mack por Mack, Chris A [autor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Chichester, West Sussex, England : Wiley, c2007Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7874/M167. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Handbook of vlsi microlithography : Principles, technology, and applications / Ed. by William b. glendinning, John n. helbert por Glendinning, William B [editor] \| Helbert, John N [editor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Park ridge, new yersey : Noyes, 1991Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Libros: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Introduction to microlithography / edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden por Thompson, L. F, 1944- [editor] \| Willson, C. G. (C. Grant), 1939- [editor] \| Bowden, M. J, 1943- [editor]. Series ACS professional reference bookEdición: 2nd ed.Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: ENG Editor: Washington, D.C. : American Chemical Society, 1994Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TR940/I57 1994. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Microlithography, molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J.D. Marty, M. Mauzac por Ito, Hiroshi [colaborador] \| Marty, Jean Daniel [colaborador] \| Mauzac, Monique [colaborador]. Series Advances in polymer science ; 172.Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Berlin : Springer Verlag, 2004Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7836/M53 Vol. 172. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Microlithography world Título de la Revista: Microlithography world por International Society for Optical Engineering \| Society of Photo-optical Instrumentation Engineers. Tipo de material: Recurso continuo; Formato: impresión grande ; Tipo de descriptor de recurso continuo: periódico Idioma: Inglés Editor: Port Washington, N.Y. : Penn Well, 1992-2008Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Revistas: Préstamo en sala (39). Agregar al carrito (remover)
		Microsystem technology / W. Menz, J. Mohr, O. Paul por Menz, Wolfgang [autor] \| Mohr, Jurgen [autor] \| Paul, Oliver [autor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: SPA Editor: Weinheim : Wiley-VCH, c2001Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7874/M445. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Semiconductor lithography : Principles, practices, and materials / Wayne m. moreau por Moreau, Wayne M [autor]. Series MicrodevicesTipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: SPA Editor: New York : Plenum, c8nucDisponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7871.85/M65. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)

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