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		Fluorine content of SiOF films as determined by IR spectroscopy and resonant nuclear reaction analysis. Título de la Revista: Journal of Vacuum Science & Technology A por Alonso, J. C \| Diaz-Bucio, M \| Ortiz, A \| Benami, A \| Cheang-Wong, J. C \| Rodriguez-Fernandez, L \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales \| Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica. Tipo de material: Texto Detalles de publicación: 2007. Acceso en línea: Acceso texto completo Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Artículos: Préstamo en sala (1). Agregar al carrito (remover)
		Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films Título de la Revista: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films por American Vacuum Society \| American Institute of Physics. Tipo de material: Recurso continuo; Formato: impresión grande ; Tipo de descriptor de recurso continuo: periódico Idioma: Inglés Editor: New York, N.Y. : American Institute of Physics, 1983-Otro título: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films \| Vacuum, surfaces, and films \| JVST A.Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Revistas: Préstamo en sala (154). Agregar al carrito (remover)
		Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena Título de la Revista: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena por American Vacuum Society. Tipo de material: Recurso continuo; Formato: impresión grande ; Tipo de descriptor de recurso continuo: periódico Idioma: Inglés Editor: New York, N.Y. : American Institute of Physics, 1991-Otro título: Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics and nanometer structures \| Microelectronics and nanometer structures \| JVSTB (New York, N.Y.).Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Revistas: Préstamo en sala (92). Agregar al carrito (remover)
		Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena Título de la Revista: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena por American Vacuum Society \| American Institute of Physics. Tipo de material: Recurso continuo; Formato: impresión grande ; Tipo de descriptor de recurso continuo: periódico Idioma: Inglés Editor: New York, N.Y. : American Institute of Physics, 1983-1990Otro título: Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena \| Microelectronics processing and phenomena.Disponibilidad: No disponible para préstamo a domicilio:Revistas: Préstamo en sala (9). Agregar al carrito (remover)

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