000 01171nam a2200313zi 4500
005 20230621111118.0
008 080215s2008 xxua 001 0 eng d
020 _a9780387751085
020 _a0387751084 (encuadernado, cubierta dura)
035 _aMX001001134480
040 _aUKM
_bspa
_cUKM
_dBAKER
_dBTCTA
_dOHX
_dYDXCP
_dDLC
_dUNAMX
050 4 _aTK7872.T55
_bP47
084 _aSerie
100 1 _aPelliccione, Matthew,
_eautor
245 1 0 _aEvolution of thin film morphology :
_bmodeling and simulations /
_cMatthew Pelliccione and Toh-Ming Lu
264 1 _aNew York :
_bSpringer Verlag,
_c2008
300 _axi, 204 páginas :
_bilustraciones
490 0 _aSpringer series in materials science
_v108
650 4 _aDispositivos de películas delgadas
650 4 _aPelículas delgadas
_xMicroestructura
650 4 _aPelículas delgadas
_xModelos matemáticos
650 4 _aDeposición química de vapor
700 1 _aLu, Toh-Ming,
_d1943- ,
_eeditor
830 _aSpringer series in materials science
_x 0933-033X
336 _atexto
_2rdacontent
337 _asin medio
_2rdamedia
338 _avolumen
_2rdacarrier
999 _c13624
_d13624