| 000 | 01098nam a2200289zi 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230621111220.0 | ||
| 008 | 130621s2012 ne a 000 0 eng d | ||
| 020 | _a9781437734836 | ||
| 035 | _aMX001001611569 | ||
| 040 |
_aUNAMX _bspa _erda _cUNAMX |
||
| 050 | 4 |
_aTS695 _bH35 2012 |
|
| 082 | 0 | 4 |
_a620.5 _222 |
| 084 | _aConsulta | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aHandbook of sputter deposition technology : _bfundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / _cedited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera |
| 250 | _aSecond edition | ||
| 264 | 1 |
_aWaltham, MA : _bWilliam Andrew, _cc2012 |
|
| 300 |
_a644 páginas : _bilustraciones |
||
| 650 | 4 |
_aPulverización catódica (Metalización) _vManuales |
|
| 650 | 4 |
_aPelículas delgadas _vManuales, etc. |
|
| 700 | 1 |
_aWasa, Kiyotaka, _eeditor de la compilación |
|
| 700 | 1 |
_aKanno, Isaku, _eeditor de la compilación |
|
| 700 | 1 |
_aKotera, Hidetoshi, _eeditor de la compilación |
|
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
||
| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
||
| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c15489 _d15489 |
||