| 000 | 01158nas a2200373zi 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000122983 | ||
| 005 | 20230621112211.0 | ||
| 008 | 960830d19922008xxuqr_p_d_________a_eng_d | ||
| 022 | _a1074-407X | ||
| 030 | _aMCWRE7 | ||
| 035 | _aSER01000122983 | ||
| 040 |
_aUNAMX _bspa _erda _cUNAMX |
||
| 041 | _aeng | ||
| 050 | 1 | 4 | _aTK7871 |
| 082 | 1 | 4 | _a621.3815 |
| 210 | 1 | _aMicrolithogr. world | |
| 222 | 0 | 0 | _aMicrolithography world |
| 245 | 0 | 0 | _aMicrolithography world |
| 264 | 1 |
_aPort Washington, N.Y. : _bPenn Well, _c1992-2008 |
|
| 310 | _aTrimestral | ||
| 321 | _aBimestral | ||
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
||
| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
||
| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 500 | _aTítulo de la cubierta | ||
| 500 | _aInicia en 1992 con el vol. 1, no. 1, cierra en 2008 con el vol. 17, no. 4 | ||
| 510 | 0 | _aINSPEC | |
| 581 | _aPublicado: Tulsa, Ok., oct., nov., dic. 1993- | ||
| 650 | 4 |
_aSemiconductores _xDiseño y construcción. |
|
| 650 | 4 | _aMicrolitografía. | |
| 650 | 4 | _aMáscaras (Electrónica) | |
| 710 | 2 | 1 | _aInternational Society for Optical Engineering |
| 710 | 2 | 1 | _aSociety of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 999 |
_c18033 _d18033 |
||