| 000 | 00810nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 231130s2001 mx a|||||||||||||||||||spa d | ||
| 035 | _aTIM01000500175 | ||
| 041 | _aSPA | ||
| 090 | _aPich/2001 | ||
| 100 | _aPichardo Pedrero, Ernesto | ||
| 245 | 1 | 0 | _aPeliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica. |
| 260 |
_aMexico : _bEl autor, _c2001. |
||
| 300 |
_a145 p. : _bil. |
||
| 502 | _aTesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales | ||
| 700 | 2 | 1 |
_aAlonso Huitron, Juan Carlos, _easesor |
| 710 | 2 | 1 |
_aUniversidad Nacional Autonoma de Mexico. _bInstituto de Investigaciones en Materiales |
| 856 | 4 |
_uhttp://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html _yAcceso texto completo |
|
| 999 |
_c18614 _d18614 |
||