000 | 01438nam a2200385 a 4500 | ||
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005 | 20231201102511.0 | ||
035 | _aPIM01000002177 | ||
040 | _aIngles | ||
100 | _aAlvarez-Macias, C. | ||
100 | _aMonroy, B. M. | ||
100 | _aHuerta, L. | ||
100 | _aCanseco-Martinez, M. A. | ||
100 | _aPicquart, M. | ||
100 | _aSantoyo-Salazar, J. | ||
100 | _aGarcia Sanchez, M. F. | ||
100 | _aSantana, G. | ||
110 | _aUniversidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | ||
110 | _aUniversidad Autonoma Metropolitana-Iztapalapa. Departamento de Fisica | ||
110 | _aInstituto Politecnico Nacional. Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados. Departamento de Fisica | ||
110 | _aInstituto Politecnico Nacional. Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas | ||
222 | _aApplied Surface Science | ||
245 | _aChemical and structural properties of polymorphous silicon thin films grown from dichlorosilane | ||
260 | _b2013 | ||
300 | _aVol. 285, pp. 431-439 | ||
590 | _aArticulo | ||
650 | _aPolymorphous silicon | ||
650 | _aDichlorosilane | ||
650 | _aPECVD | ||
650 | _aNanocrystals | ||
650 | _aAFM | ||
650 | _aRamanXPS | ||
650 | _aFTIR | ||
856 |
_uhttps://iim-b.bibliotecas.unam.mx:81/opac-tmpl/bootstrap/images/documentos/articulos/2013-28.pdf _yAcceso texto completo |
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999 |
_c22211 _d22211 |
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